Для поддержания стабильной работы литографической машины необходимо установить систему охлаждения внутри литографической машины.Система охлаждения литографической машины в основном включает охлаждение водой, принудительное охлаждение воздухом, хладагент, водород и гелий и другие способы, из которых охлаждение водой является основным.Система охлаждения водой внутри литографической машины пропускает воду через внутренний радиатор через водопровод, убирает тепло, когда оно проходит через внутренние высокотемпературные части, и рассеивает тепло через внешний радиатор,таким образом, поддерживая низкую температуру среды внутри литографической машины и обеспечивая стабильную работу литографической машины.